商品紹介
お客様の耐食に関するお悩みを解決する商品を、
豊富なラインナップで取り揃えています。
旭有機材株式会社
高精度流量制御機器 （FalconicsTM）
特長
- CMPプロセスに最適な構造、優れた耐久性を持った流量制御機器
- 超音波流量計と電動弁を一体化した高精度な流量制御機器
仕様
- FCN
- 独自のストレート型超音波流量計と電動ニードルバルブを組合せた薬液用フローコントローラー
- 故障自己判断機能、LED表示、異常履歴保持機能を標準搭載
- AVFCS2
- ストレート型流量計とピンチバルブを組み合わせた従来の流量制御機器（FCS）を、より小型化
- 温度補正機能、オートパージ機能、ホールド機能を標準搭載
